Gestion et analyse de flux de données : Application à l’identification et la surveillance de la contamination aéroportée, liée aux procédés en salle blanche

La contamination aéroportée dans les usines de fabrication des semi-conducteurs est connue comme le principal facteur de perte de rendement. Les plaques de silicium (wafer) utilisées pour la fabrication des puces électroniques sont sensibles aux contaminations particulaire et moléculaire provenant de l’air ambient. Pour limiter les contaminations les environnements contrôlés tel que les salles blanches et les FOUP sont utilisés. 

Le projet DASMA est en collaboration avec Pfeiffer Vacuum France, la filiale du groupe international, l’un des leaders sur les marchés du vide. Implantée à ANNECY (74000), Pfeiffer Vacuum compte aujourd’hui environ 1000 collaborateurs qui travaillent à la conception, à la fabrication et à la commercialisation de pompes à vide, détecteurs de fuite, pompes turbo moléculaires, systèmes de contrôle de l’étanchéité. Pfeiffer Vacuum propose à ses clients des machines permettant de contrôler l’air ambiant dans un FOUP ou une salle blanche. 

Partenaire du projet IT2-FR, Pfeiffer Vacuum est chargée de développer la technologie PTR-ToF-MS pour l'identification et la surveillance de la contamination aéroportée, liée aux procédés en salle blanche et dans les environnements FOUP. L’objectif est de développer un nouveau logiciel d'analyse de traitement des données pour permettre une identification facile des composés détectés inconnus (aujourd'hui, l'identification ne peut être effectuée que si l'étalonnage des molécules a été effectué auparavant) qui peuvent être présents dans l'environnement FOUP ou dans la salle blanche. Cette identification s’appuiera sur des études expérimentales dans ces environnements. A noter que l’analyseur, génère de grosses quantités de données : spectres (autour de 3Go/jour en continu), aujourd’hui, toutes les informations ne sont pas traitées et tous les composés ne sont pas identifiés. 

C’est dans ce contexte que s’inscrit la collaboration de Pfeiffer Vacuum avec le CNRS-LIMOS. Le CNRS-LIMOS sert de soutien à Pfeiffer sur le stockage et l’analyse de données pour l’identification et la surveillance de la contamination aéroportée, liée aux procédés en salle blanche. 

Le projet DASMA est une sous-partie du projet français IT2-FR. Ce projet français s’inscrit dans le projet ECSEL européen IT2-EU et se rapporte au chapitre 10 de la norme ECSEL MASP 2019. Il met l'accent sur "l’extension du leadership mondial en matière d'équipements, de matériaux et de solutions de fabrication de semi-conducteurs" et sur le "Développement des technologies pour l’intégration hétérogène des System-on-Chip (SoC)". L’objectif est de maintenir la compétence dans les technologies avancées en Europe pour soutenir la fabrication de pointe.