Thèse : Developpement d'un nouveau procédé de polissage mécano-chimique d'oxyde de silicium pour les caissons d'isolation de dispositifs microélectroniques.
Responsable LIMOS : ROUSSY AgnesCoordinateur : None
Début du projet : 1 janvier 2016 - Fin du projet : 1 janvier 2020
Thèse Developpement d'un nouveau procédé de polissage mécano-chimique d'oxyde de silicium pour les caissons d'isolation de dispositifs microélectroniques. (BOURZGUI)
Organismes partenaires :
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Financeur : None