Projets

Thèse : Developpement d'un nouveau procédé de polissage mécano-chimique d'oxyde de silicium pour les caissons d'isolation de dispositifs microélectroniques.

Responsable LIMOS : DAUZERE PERES Stéphane
Coordinateur : None
Début du projet : 1 janvier 2016 - Fin du projet : 1 janvier 2020


Thèse Developpement d'un nouveau procédé de polissage mécano-chimique d'oxyde de silicium pour les caissons d'isolation de dispositifs microélectroniques. (BOURZGUI)





Organismes partenaires :

Financeur : None