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Thèse : Developpement d'un nouveau procédé de polissage mécano-chimique d'oxyde de silicium pour les caissons d'isolation de dispositifs microélectroniques.

Responsable LIMOS : DAUZERE PERES Stéphane
Begin of project : Jan. 1, 2016 - Fin du projet : Jan. 1, 2020


Thèse Developpement d'un nouveau procédé de polissage mécano-chimique d'oxyde de silicium pour les caissons d'isolation de dispositifs microélectroniques. (BOURZGUI)





partner organism :
STM -