Thèse : Minimisation du risque avec la métrologie en fabrication de semi-conducteurs

De manière générale, les travaux de thèse portent sur la proposition et la validation d’approches globales de sélection dynamique de lots à mesurer pour la maîtrise des risques associés à différents types de contrôle. Dans un système de fabrication ayant une forte variabilité, la prise en compte des aspects dynamiques contribue aussi à une meilleure gestion des capacités de mesure. C’est un enjeu de plus en plus important avec l’augmentation du coût des équipements de mesure associée à la diminution des finesses de gravure. Les travaux proposés sont présentés ci-dessous en deux parties. 

1.      Au niveau défectivité. Une approche reste à développer pour optimiser globalement les décisions liées aux contrôles de défectivité (ordonnancement sur machines de production de lots à mesurer, sélection des lots à mesurer et ordonnancement sur machines de défectivité) et encore prises de manière séparée. Dans un deuxième temps, l’approche précédente devra prendre en compte « l’état de santé » (Equipment Health Indicator, EHI) des équipements de production pour la sélection dynamique des lots.

2.  Un autre objectif plus ambitieux est d’étendre les travaux développés pour la défectivité à d’autres types de mesures que la défectivité, en particulier au niveau des tests paramétriques. Les difficultés sont nombreuses. Il faudra tout d’abord caractériser les informations pour définir les indicateurs (probablement plus complexes que le W@R utilisé en défectivité) à utiliser pour choisir les lots. Il faudra ensuite développer et valider les algorithmes pour la sélection des lots à mesurer et l’ordonnancement de ces lots dans l’atelier de métrologie concerné. L’ordonnancement pourrait être relativement simple dans certains cas et consister à mesurer les lots dans leur ordre d’arrivée (« premier arrivé premier servi »).